中北大学光刻机，台阶仪设备采购结果公告
- 2025-07-17
项目名称: 光刻机，台阶仪设备采购结果公告
项目编号: ZBDXJC-20250082
招标公司: 中北大学
中标公司: 山西鲲鹏信息技术有限公司
项目地区：山西 太原
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光刻机、台阶仪设备采购结果公告
发布日期：2025-07-17 浏览次数：
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中标信息
成交供应商： 山西鲲鹏信息技术有限公司
选择理由： 总价最低，推荐成交
质疑投诉说明： 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质）递交至国有资产管理处，逾期不予受理。
项目名称 光刻机、台阶仪设备采购 项目编号 ZBDXJC-20250082
公告发布日期 2025/07/10 15:17 报价截止时间 2025/07/15 15:17
采购单位 中北大学 付款条款 合同签订后，甲方向乙方预付合同金额的40%，设备交付到现场，安装、调试验收合格，乙方出具增值税专用发票后，甲方向乙方一次性支付全部尾款。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否需要踏勘 否
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
采购预算 ￥295,000.00 成交金额 ￥280,000.00
送货/施工/服务期限 合同签订后60天内完成设备交付安装培训。
送货/施工/服务地址 山西省太原市学院路3号中北大学
采购清单
1
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价
光刻机 否 套 1 （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x24 技术支持，4小时内响应， 48小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 ￥100,000.00
参考品牌及型号 中国科学院光电技术研究所（URE-2000S） 飞诚（FC-GK-22） 博锐（BEM-YL3000）
技术参数要求 一、技术参数要求1、光源类型： LED 光源；2、曝光面积：160 mm×160 mm；3、曝光波长：365 nm：0-30 mW/cm2数字连续可调；4、分辨力：1 μm；5、对准精度：±1.2 μm（单面），±2μm（双面，片厚≤0.8mm）；6、掩模尺寸： 7 英寸，向下兼容7、样片尺寸：150 mm×150 mm，厚度可适应 0.1mm--2mm（其他厚度可定制），向下兼容；8、曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s-999.9s 任意设定）；9、调平接触压力通过传感器保证重复；10、数字设定对准间隙和曝光间隙；11、正面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 40mm-140mm；12、底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 20mm-140mm；13、具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；14、照明不均匀性：±2%（Ф100 mm 范围），±3%（Ф150 mm 范围）；15、掩模相对于样片运动行程：X：优于±5mm; Y：优于±5mm; θ：优于±6°；16、光源平行性：≤2.5°。二、配置要求设备要求由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成；1、曝光头系统要求包含：1.1进口紫外 LED 光源；1.2 LED 光源整形模块；1.3 XYZ 光源位置调节台；1.4冷却风扇；1.5光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射镜组）；2、对准工件台要求包含：2.1掩模样片相对运动台（XY）；2.2 转动台（θ）；2.3样片自动调平机构；；2.4样片调焦机构2.5承片台 1 个 （150mm×150mm）；2.6掩模架 1 个 （7 英寸）；2.7掩模翻转及旋转机构；；2.8XYZ 底面对准工件台（两套）；3、双目双视场对准显微镜包括：光源、电源；CCD 4 只；成像光学系统；22 英寸液晶显示器；采集卡；三维运动台；4、底面对准系统包括：光源、电源；成像光学系统；数据采集卡 ；CCD。5、电控系统包括：控制系统、控制柜桌、计算机系统；6、气动系统包括：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；电磁阀驱动；气动仪表；7、其它附件包括：真空泵一台（无油泵）；空压机一台（静音泵）；管道。
采购清单
2
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务及其他要求响应 分项报价
台阶仪 否 台 1 （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x24 技术支持，4小时内响应， 48小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 ￥180,000.00
参考品牌及型号 光莹（GY-10P） 泽攸（JS10B） 镭埃（ZL-VSM）
技术参数要求 1、光学系统：≥500万像素彩色摄像机2、探针传感器：双LVDT传感器；3、探针加力范围：0.5-50mg；4、探针选型：探针曲率半径1μm，夹角60°；5、平台移动范围X/Y ：手动X/Y（150mm×150mm）；6、移动范围Z： 手动Z，10mm；7、样品R-θ载物台： 手动，360°连续旋转；8、单次扫描长度： 55mm；9、最大样品厚度： ≤10mm；10、载物台可装载最大尺寸： 170mm；11、台阶高度重复性： 0.5nm（标准块重复扫描30次）；12、测量范围： 500um；13、扫描速度： 5um/s-100um/s；14、最大扫描采样点数： 200万点；
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该项目其它公告
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* 光刻机、台阶仪设备采购竞价公告 2025-07-10 15:17
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